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基于微波信號的非接觸式導電薄膜方塊電阻測量方法

1262   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明公開了一種基于微波信號的非接觸式導電薄膜方塊電阻測量方法，包括如下步驟：選取方塊電阻值穩定的樣品作為校準樣品；測量校準樣品的方塊電阻、散射參數特性；依據校準樣品測試數據獲得金屬薄膜散射參數?方塊電阻關系曲線；測量待測樣品的散射參數特性；依據薄膜散射參數?方塊電阻關系曲線和待測樣品的散射參數計算得到待測樣品的薄膜方塊電阻。本發明實現無損測量導電薄膜方塊電阻，而且能廣泛應用于集成電路、太陽能電池、探測器等領域，具有一定的普適性。
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“基于微波信號的非接觸式導電薄膜方塊電阻測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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