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介質薄膜與金屬界面熱阻的測量方法及系統

734   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明涉及一種介質薄膜與金屬界面熱阻的測量方法及系統，將介質薄膜與金屬箔緊密貼緊后進行熱脈沖實驗得到實測熱響應電流信號曲線；建立介質薄膜與金屬箔的傳熱仿真模型，當仿真模型的理論熱響應信號電流曲線與實測熱響應電流信號曲線的擬合度滿足預設置的收斂條件時，將仿真模型的界面熱阻值作為介質薄膜與金屬箔的界面熱阻。與現有技術相比，本發明實現過程簡單，獲取實測熱響應電流后，建立傳熱仿真模型，不斷調節仿真模型的界面熱阻值，直至實測熱響應電流與仿真模型的理論熱響應電流的擬合度滿足收斂條件，測量速度快、準確度高，操作方便，對介質薄膜無損傷，能夠對厚度數微米的獨立介質薄膜材料與金屬之間的界面熱阻進行高精度測量。
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