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反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法

944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明屬于光學精密測量技術領域，涉及一種反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法。該方法通過共焦定焦原理配合平行平晶精確定位被測表面的焦點位置，進而實現超大曲率半徑的高精度測量。本發明提出共焦定焦原理與反射腔式折疊光路原理相結合的方法，具有被測件移動距離小、光路簡單、測量精度高、測量速度快、抗環境干擾能力強、對被測表面無損傷等優點，可用于超大曲率半徑的高精度非接觸測量。
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“反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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