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用于測量薄膜材料相變溫度的裝置及方法

1170   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明涉及一種用于測量薄膜材料相變溫度的裝置，包括襯底、電極、紅外溫度探測器、激光光源、多普勒探測器、飛秒脈沖激光光源；襯底用于鋪設待測薄膜，電極置于待測薄膜上，紅外溫度探測器監測待測薄膜的溫度；激光光源向待測薄膜表面斜射探測光，飛秒脈沖激光光源向同一入射點垂直射入飛秒激光脈沖，從而在薄膜內產生聲波，使探測光在待測薄膜表面的反射光引起多普勒頻移，多普勒探測器用于探測該反射光的多普勒頻移信號。本發明測量裝置及方法利用飛秒激光誘導薄膜產生聲波，利用薄膜晶態和非晶態之間折射率的差異，反應聲波在一定厚度薄膜內傳播一個來回的時間差異，通過多普勒探測器探測反射光的多普勒頻移信號，具有快速、無損測量的優點。
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“用于測量薄膜材料相變溫度的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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