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微機電系統的動態應力測試方法

1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:32
本發明涉及微機電系統的動態特性測試方法,具體為微機電系統的動態應力測試方法。本發明解決現有技術尚無測試微機電系統動態應力測試方法的問題。該方法包含激光照射動態樣品、樣品產生拉曼散射、輸出拉曼光譜、分析拉曼光譜的拉曼測試過程,將照射激光調制成與被測樣品動態振動頻率相同的激光脈沖。本發明首次將拉曼測試原理用于微機電系統動態應力的測試,并通過對激光的高頻調制使拉曼測試用于微機電系統的動態應力測試成為現實,從而給出了一種基于拉曼光譜的非接觸式無損測試微機電系統動態應力的方法,添補了微機電系統動態應力測試的空白。
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“微機電系統的動態應力測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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