本發明公開了一種相變溫度測試系統,其結構為:加熱爐的蓋板上開有通光孔,加熱爐內設有爐腔,樣品架位于爐腔內,并位于通光孔的正下方,在通光孔的上方放置有激光器和光電探測器,光電探測器位于待測樣品對激光束的反射光路上。本發明可以增設信號放大采集電路、溫度控制傳感電路和數據處理器。通過該系統測試靈敏度較高,能測定膜厚低至1nm的薄膜的相變溫度;且可直接測量薄膜樣品的相變溫度,對樣品無損傷;通過不同升溫速率下的變溫測量還可獲得更多的材料熱力學參數。操作簡單,成本低廉,測試可靠度較高。
聲明:
“相變溫度測試系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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