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多焦全息差動共焦超大曲率半徑測量方法與裝置

970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:32
本發明屬于光學精密測量技術領域,涉及一種多焦全息差動共焦超大曲率半徑測量方法與裝置。該方法首先利用差動共焦系統對多焦全息透鏡的長焦距值進行校準,減小測量的系統誤差,然后利用差動共焦定焦原理對被測件的貓眼位置和共焦位置實現非接觸高精度定位,繼而利用幾何光學原理可以實現超大曲率半徑的高精度測量。該裝置包括點光源、第一分光鏡、準直物鏡、多焦全息透鏡、差動共焦系統、調整架、測長系統和移動導軌。本發明首次將差動共焦高精度定焦原理與多焦全息透鏡壓縮光路原理相融合,具有被測件移動距離小、測量精度高、測量速度快、抗環境干擾能力強、對被測表面無損傷等優點,可用于超大曲率半徑的高精度非接觸測量。
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