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硅納米線FET傳感器阻值的測量裝置及方法

915   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:32
本發明提供了一種硅納米線FET傳感器阻值的測量裝置，包括：硅納米線FET傳感器，其上設有待測的目標物；電源裝置，其正極和負極之間設有依次串聯的限流電阻、硅納米線FET傳感器和負載電容，以對負載電容充放電；ASIC組件，其根據負載電容兩端的電壓大小將負載電容在充電和放電狀態之間切換，根據電壓大小輸出高低電平，以產生方波信號，獲取其頻率，得到硅納米線FET傳感器的實時電阻值；和顯示裝置，設置為接收并顯示硅納米線FET傳感器的實時電阻值的數據。本發明還提供了相應的方法。本發明的裝置具有體積小、電路結構簡單、高效、低成本、低功耗、低溫漂、器件無損、檢測范圍大、自適應能力強和完全不存在失配問題的優點。
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