本發明公開了一種基于激光超聲的工件表面殘余應力測量裝置及其方法。其步驟為:1)將待測的工件放置于振鏡下方,將壓電傳感器放置于工件表面并連接至示波器;2)利用脈沖激光通過振鏡聚焦后在工件表面激勵出表面波,再通過壓電傳感器獲得表面波信號R1,繼而得到表面波到達時間t1;3)通過振鏡掃描使脈沖激光縱向移動,重復步驟2),獲得表面波信號,繼而得到表面波到達時間;4)通過計算獲得工件在縱向移動直線上的表面波速度分布;5)將壓電傳感器沿工件表面橫向移動,每次橫向移動后重復步驟2)~4),得到工件表面不同縱向移動直線上的表面波速度分布;6)根據聲彈性理論和表面波速度分布,計算出工件的表面殘余應力分布。本發明能實現快速無損檢測工件表面殘余應力。 1
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