本發明提供一種基于反射太赫茲光譜的介質厚度預測、評價方法及系統,預測方法包括:獲取待測區域的太赫茲反射信號并進行預處理;將所述預處理后的待測區域的太赫茲反射信號輸入厚度預測模型,獲得厚度預測模型輸出的所述待測區域的厚度值。評價方法包括:將厚度預測結果與利用時間延遲原理計算得到的厚度結果進行比較,進一步驗證預測模型的準確性和適用性。本發明提供的預測方法只需考慮參考波形和已知參考厚度,建立兩者的擬合模型,避免了因介質厚度較薄使信號混疊和因太赫茲波傳輸色散使波形展寬引起的厚度計算誤差,為光學薄樣品和厚樣品的厚度測量提供了新思路,對結構復雜的工業部件的厚度無損檢測提供了新的方向。
聲明:
“基于反射太赫茲光譜的介質厚度預測、評價方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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