本實用新型公開一種二維分辨掃描成像紅外調制光致發光光譜測試裝置。該裝置包括具有步進掃描功能的傅立葉變換紅外光譜儀、作為激發光源的泵浦光系統、用于精確定位的五軸調節與復位控制平臺及平行校正系統、聯接傅立葉變換紅外光譜儀中探測器和電路控制板的鎖相放大器和泵浦激光源之間光路上的斬波器。本專利還基于上述設備,提出實現波段覆蓋4-20μm寬波段的二維空間分辨與掃描成像紅外調制光致發光光光譜測試方法。本專利是一種檢測窄半導體材料光學性質和能帶結構空間均勻度的光譜學測試裝置和方法,具有無損高靈敏優點,非常適合于大面積紅外探測器面陣材料的平面空間均勻性檢測。
聲明:
“二維分辨掃描成像紅外調制光致發光光譜測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)