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多層膠片厚度的太赫茲波反射式在線測量方法

1139   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:29
本發明所述多層膠片厚度的太赫茲波反射式在線測量方法,基于太赫茲技術而實現一種全新的反射式在線測量方法,即先對多層膠片的每個膠層樣品進行靜態離線測量以標定每個膠層固有材料所導致的實際折射率,以建立后續在線測量厚度的計算對標,利用太赫茲的非接觸、高反射性、高精度、無損傷等特性,實現對多層膠片的現場動態測量,以期達到厚度檢測的準確度、穩定性的相關標準,進而為多層膠片厚度均勻性檢測提供了一種有效的新方法。所述反射式在線測量方法,在線測量過程中,同一組太赫茲波的發射裝置與接收裝置位于被測量對象的同一側;利用太赫茲波反射特性,計算出不同層面反射波到達的時間差與強度變化,得出符合以下公式的n層膠片總厚度δ。
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