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可調諧波長干涉三維形貌測量裝置

881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:28
本實用新型為一種可調諧波長干涉三維形貌測量裝置，屬于光學精密檢測技術領域。測量裝置由可調諧激光器、第一分光裝置、反射鏡、第一擴束系統、第二擴束系統、相移裝置、第二分光裝置、相機組成，通過激光調諧、光場解算等技術，實現物體表面三維形貌測量。本實用新型測量裝置具有對被測表面粗糙度的適應范圍寬、量程適配性強、非接觸、高精度等特點，能夠實現對待測件的無損檢測，可廣泛應用于半導體、光學、航空航天等高精密檢測領域。
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