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晶圓片的壽命測試方法

816   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:28
本發明提供一種晶圓片的壽命測試方法，步驟包括：氧化，至少在晶圓片的一個表面上形成一層氧化膜；鈍化，在具有所述氧化膜的其中一個所述晶圓片表面上進行電荷沉積；測試，再對鈍化后的所述晶圓片表面進行壽命測試。本發明測試方法為無損檢測，無需對晶圓片進行化學鈍化，即可對晶圓片體內載流子壽命進行檢測，測試結果準確且測試效率高，測試完成后可以繼續對晶圓片進行其他理化性質方面的檢測及測試，提高晶圓片的利用率，節約成本。
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聲明：
“晶圓片的壽命測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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無損檢測
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