本發明公開的一種激光共焦/差動共焦拉曼光譜振動參數測量方法,屬于光學精密測量技術領域。本發明融合了共焦振動檢測、差動共焦振動檢測和拉曼光譜探測技術,并利用二向色分光系統對瑞利光和拉曼散射光進行無損分離,其中,拉曼散射光進行光譜探測,瑞利光進行振幅、頻率等振動參數檢測。構成一種可實現樣品微區的振動參數和樣品微區振動的拉曼光譜同時檢測的振動信息測試方法。本發明使共焦拉曼顯微鏡和差動共焦拉曼顯微鏡具備了同時探測微區振動參數信息和微區振動的拉曼光譜的能力。具有振動測量精度高、振幅測量范圍廣、頻率測量帶寬高、光譜探測靈敏度高、可測量周期運動和非周期運動、抗環境干擾能力強等優勢。同時進行微區振動參數和振動光譜特性的高精度檢測,在光學精密測量技術領域具有廣泛的應用前景。
聲明:
“激光共焦/差動共焦拉曼光譜振動參數測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)