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離軸非球面鏡光軸與安裝面夾角的光學測量系統及方法

919   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:27
本發明提供了一種離軸非球面鏡光軸與安裝面夾角的光學測量系統及方法，包括干涉儀、平行平晶、補償器和離軸非球面組件；干涉儀提供光源并檢測非球面面形誤差；干涉儀發射的光束依次透過平行平晶、補償器到達離軸非球面組件進行反射，所述離軸非球面組件反射出的光線依次透過補償器、平行平晶進入干涉儀內部的探測器，進入所述干涉儀內部的光線與干涉儀內部的參考光進行干涉，形成干涉條紋，并計算得出非球面面形誤差。本發明可以快速、無損且精確的測量和計算出離軸非球面鏡光軸與支撐結構安裝面之間的夾角。本發明利用目前的精密儀器設備和光學元件，對光學鏡面無損傷、檢測精度高、耗時短，是一種快速高精度無損檢測技術。
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