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掃描顯微環境下薄膜拉伸加載裝置及薄膜變形測量方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:27
一種掃描顯微環境下的薄膜拉伸加載裝置與薄膜變形測量方法,屬顯微掃描無損檢測和精密機械領域。該發明是通過設計能進行三維位置和角度調整的機械結構、壓電陶瓷驅動系統、力緩沖系統等在原子力掃描顯微鏡和電子束掃描顯微鏡檢測平臺上完成薄膜變形測量,可對微尺度薄膜的全域或局部區域的變形場進行定量檢測,被測薄膜厚度從數微米到亞微米厚度,裝置可以多次使用,適合不同厚度和尺度的薄膜材料和結構的變形檢測,可結合雙曝光數字散斑技術、圖像相關技術或微標記技術實現高空間分辨鏡原子力掃描顯微鏡或電子束掃描顯微鏡環境下的薄膜原位、在線檢測。
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