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半導體制程量測數據的預測方法

962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:26
本發明提供一種半導體制程量測數據的預測方法，包括：提供一晶圓的歷史量測數據及與歷史原始過程數據；利用自編碼器對第一時間序列數據進行時間步縮短處理，以獲得第二時間序列數據；利用第二時間序列數據及歷史量測數據對預測模型進行擬合訓練，預測模型包括transformer編碼器及多層感知機；將待預測原始過程數據輸入時間步縮短模型及預測模型，以獲得預測量測數據。本發明中，通過自編碼器對時間序列數據進行時間步上的縮短，以在無損特征信息前提下以利于提高整體的計算效率，再利用transformer編碼器的并行計算以提高計算速度，以及利用自注意力機制在獲取數據的大小特征的同時兼顧時間步上的特征，以提高預測的準確率。
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“半導體制程量測數據的預測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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