本發明公開一種基于空氣耦合超聲的薄膜面密度測量方法及測量系統,其中方法包括測量激勵信號在空氣中傳播得到的第一衰減信號的能量;測量所述激勵信號經過多層介質薄膜后得到的第二衰減信號的能量,多層介質薄膜位于空氣耦合超聲換能器的信號發射換能器和信號接收換能器之間;根據第一衰減信號和第二衰減信號的能量差異,計算多層介質薄膜的測量位置聚焦點處的面密度值;變換空氣耦合超聲換能器的位置,重復執行上述步驟,得到多層介質薄膜不同測量位置聚焦點處的面密度值,通過取平均值得到多層介質薄膜的面密度。利用本發明基于空氣耦合超聲手段測量多層彈性介質薄膜面密度,有利于實現涂炭鋁箔表面碳層涂覆質量的無損、快速評價,提高制備質量和制備效率。
聲明:
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