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基于剪切散斑干涉的光學離面位移場測量裝置及測量方法

743   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:26
本發明公開了一種基于剪切散斑干涉的光學離面位移場測量裝置，包括設有鏡頭、光圈調節裝置和聚焦調節裝置的攝像機、第一半透半反鏡、第二半透半反鏡、第三半透半反鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、壓電陶瓷器、電壓控制器和計算機。同時，本發明還公開了一種基于剪切散斑干涉的光學離面位移場測量裝置的測量方法，包括以下步驟：步驟1.調試測試裝置；步驟2.在被測樣品發生變形前，采集相移圖；步驟3.在被測樣品發生變形后，采集相移圖；步驟4.測量離面位移梯度場；步驟5.測量出離面位移場。使用該測量裝置進行光學離面位移場測量，可以使被測樣品表面無損、全場測量、分辨率高、測量結果穩定，且便于現場測量。
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