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散斑干涉與剪切散斑干涉的測量系統及測量方法

752   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:24
本發明提供一種散斑干涉與剪切散斑干涉的測量系統及測量方法，涉及光學測試技術領域。其特征在于：包括激光器和分束鏡，所述激光器發射的激光經所述分束鏡分為透射光和反射光；所述透射光經擴束鏡擴束后照射至被測物形成漫反射光，所述反射光依次經光纖、透鏡和分光棱鏡后作為參考光進入光路；所述被測物表面的漫反射光依次經光闌、成像透鏡和邁克爾遜剪切裝置后，獲得具有剪切量的兩束物光；所述具有剪切量的兩束物光和光纖引入的參考光在CCD相機的靶面上干涉，形成散斑干涉圖。本發明可對被測物進行散斑和剪切的同步動態檢測，是一種無損、全場、高精度的測量系統。
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