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圓片鍵合質量可靠性測試結構及可靠性測試方法

874   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:24
本申請涉及一種圓片鍵合質量可靠性測試結構及可靠性測試方法；其中，圓片鍵合質量可靠性測試結構，包括依次相接觸串聯固定在機械支撐層上的多個圓片鍵合結構組件；還包括設于首個圓片鍵合結構組件處的第一測試位點，和設于末端圓片鍵合結構組件處的第二測試位點；圓片鍵合結構組件包括通過導電的橋梁結構連接的兩個圓片鍵合結構；圓片鍵合結構包括依次層疊在機械支撐層上的金屬層、結構層；任一圓片鍵合結構的結構層通過橋梁結構連接另一圓片鍵合結構的結構層；任一圓片鍵合結構的金屬層與相鄰圓片鍵合結構組件中任一圓片鍵合結構的金屬層通過金屬布線相接觸；本申請可通過測試圓片鍵合結構的接觸電阻，實現對圓片鍵合的無損檢測。
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聲明：
“圓片鍵合質量可靠性測試結構及可靠性測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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