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非接觸式電光晶體通光面法線與Z軸偏離角測量裝置及其測量方法

733   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:23
一種電光晶體通光面法線與Z軸偏離角測量裝置及其測量方法，該裝置包括激光器、第一透鏡、空間濾波器、第二透鏡、起偏器、分光鏡、平面反射鏡、數字光電自準直儀、第三透鏡、第四透鏡、檢偏器、成像透鏡、探測器和計算機處理系統。實驗表明，本發明利用錐光干涉原理，實現了待測晶體待測面的非接觸式無損檢測，保障了測量過程中不引入待測晶體表面劃痕，并且適用于大口徑電光晶體檢測，另外本發明采用數字光電自準直儀標定檢測光束的光軸方向，保障了檢測光束垂直入射待測晶體，具有測量精度高，測量重復性好的優點，具有很大應用前景。
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