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利用近場微波檢驗薄膜厚度的方法及裝置

1056   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:23
本發明公開一種利用近場微波檢驗薄膜厚度的方法及裝置，屬于薄膜厚度檢驗技術，包括步驟：近場微波系統空載時的諧振頻率記為f0；放置第一標準樣品于載物基片，第一諧振頻率變化量為Δf1=f1?f0；第二諧振頻率變化量為Δf2=f2?f0；第n諧振頻率變化量為Δfn=fn?f0；基于d1、d2、…、dn以及Δf1、Δf2、…、Δfn，得到Δf=Δf(d)曲線；得到允許的最小諧振頻率變化量Δfmin=Δf(dmin)和允許的最大諧振頻率變化量Δfmax=Δf(dmax)；測試樣品K諧振頻率變化量為ΔfK=fK?f0；Δfmin≤ΔfK≤Δfmax，則測試樣品K通過檢驗。該方法無損害、非接觸式。
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“利用近場微波檢驗薄膜厚度的方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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