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石英玻璃亞表面損傷深度樣件制作及檢測方法

959   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:22
本發明涉及一種石英玻璃亞表面損傷深度樣件制作及檢測方法,步驟為:1、對樣件上表面進行超精密磨削加工,清洗加工后的樣件;2、將清洗烘干后的單面拋光硅片的拋光面與樣件加工面均勻粘接,待膠層固化后,進行橫縱方向的分切,分成多個小樣件;3、取一塊形狀方正的小樣件,僅一個側面外露的方式包固在外套件內;4、固定住外套件,對樣件外露側面進行無損漸進式拋光,拋光后清洗、烘干;5、將樣件放入氫氟酸腐蝕溶液中腐蝕,并進行清洗烘干;6、利用離子濺射儀對拋光腐蝕后的側面噴金處理,形成導電層;7、通過掃描電子顯微鏡觀察樣件截面并拍攝截面圖像,通過圖像數據處理軟件測得材料亞表面損傷深度。本方法可獲取樣件表面損傷深度信息。
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