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石英玻璃亞表面損傷深度樣件制作及檢測方法

959   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:22
本發明涉及一種石英玻璃亞表面損傷深度樣件制作及檢測方法，步驟為：1、對樣件上表面進行超精密磨削加工，清洗加工后的樣件；2、將清洗烘干后的單面拋光硅片的拋光面與樣件加工面均勻粘接，待膠層固化后，進行橫縱方向的分切，分成多個小樣件；3、取一塊形狀方正的小樣件，僅一個側面外露的方式包固在外套件內；4、固定住外套件，對樣件外露側面進行無損漸進式拋光，拋光后清洗、烘干；5、將樣件放入氫氟酸腐蝕溶液中腐蝕，并進行清洗烘干；6、利用離子濺射儀對拋光腐蝕后的側面噴金處理，形成導電層；7、通過掃描電子顯微鏡觀察樣件截面并拍攝截面圖像，通過圖像數據處理軟件測得材料亞表面損傷深度。本方法可獲取樣件表面損傷深度信息。
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聲明：
“石英玻璃亞表面損傷深度樣件制作及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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