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檢測納米材料的長周期圖案種類的方法

1039   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:22
本發明提供一種檢測納米材料的長周期圖案(LPP)種類的方法，包括如下步驟：(1)將納米材料制作成掃描透射電子顯微鏡樣品，放在帶球差校正的掃描透射電子顯微鏡中；(2)找到LPP區域，帶球差校正的掃描透射電子顯微鏡調至正常的成像模式，在一個欠焦量下獲得HAADF像；(3)通過多次改變帶球差校正的掃描透射電子顯微鏡的欠焦量，獲得一系列欠焦量不同的像；(4)分析系列欠焦像，比較每一幀結構的變化。本發明解決了用常規方法難以判斷納米材料的LPP種類的問題，為下一步電學、力學和光學等物理性質以及化學性質的研究打好前提。另外，本發明采用的斷層成像法在原位、快速、無損表征材料或器件結構方面有獨到的優勢。
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