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基于太赫茲時域光譜的軸套自潤滑涂層厚度檢測方法

985   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:21
本發明涉及一種基于太赫茲時域光譜的軸套自潤滑涂層厚度檢測方法，包括以下步驟：S1、采用反射式太赫茲時域光譜系統，利用空氣?金屬鏡的反射信號作為參考信號，利用空氣?樣品涂層的反射信號作為樣品信號，對兩個信號作傅里葉變換得到二者的頻域信號，由此得到參考信號和樣品信號的相位變化和反射率，進而計算樣品涂層的折射率；S2、建立太赫茲波在多介質層的軸套自潤滑涂層內部傳播的物理模型；S3、通過反射式太赫茲時域光譜系統，獲得樣品的反射時域信號，從而獲得樣品時域信號中反射峰之間的延遲時間；結合步驟S1獲得的樣品涂層的折射率以及步驟S2建立的物理模型，計算樣品涂層的厚度。該方法有利于對軸套自潤滑涂層厚度進行高精度無損檢測。
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聲明：
“基于太赫茲時域光譜的軸套自潤滑涂層厚度檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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