本實用新型提供了一種在蔡司EVO60掃描電鏡上用于葉片檢測的裝置,包括凹槽夾具、寬度墊片、高度墊片;所述凹槽夾具是截面為U形的條狀塊,凹槽夾具的兩側垂直板上設置有多個定位螺孔;所述凹槽夾具內底部水平放置有高度墊片,垂直放置有寬度墊片;所述寬度墊片、高度墊片和凹槽夾具長度相同,寬度墊片、高度墊片的厚度小于凹槽夾具任意一塊板的厚度。本實用新型能有效實現對葉片的無損傷檢測,避免對葉片進行切割,從而避免對偽缺陷葉片造成損傷,由此降低生產制造成本;便于操作,工作效率高,檢測質量好。
聲明:
“在蔡司EVO60掃描電鏡上用于葉片檢測的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)