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針對大口徑深矢高的光學自由曲面檢測裝置

1102   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:18
一種針對大口徑深矢高的光學自由曲面檢測裝置，屬于光學測量技術領域，為了解決現有技術對非對稱大尺寸光學自由曲面的非接觸無損檢測方法存在的問題，ZYGO干涉儀、標準平面參考鏡、光闌、第一分光鏡和第二分光鏡依次同軸放置，第一分光鏡和第二分光鏡傾斜45°；第一零位補償透鏡和被測自由曲面依次同軸放置在第一分光鏡的反射光路上；第二零位補償透鏡、偏振片和液晶空間光調制器依次同軸設置在第二分光鏡的反射光路上；ZYGO干涉儀與PC相連；PC與液晶空間光調制器相連；該裝置檢測效率高、成本低、并且具有體積小、便于二次開發、精度高、便于控制、誤差小等優點；本實用新型將在大型的光學系統檢測中具有廣泛的應用前景。
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