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基于反射型太赫茲時域光譜技術的熱障涂層多層厚度檢測方法

1190   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:16
本發明公開了一種基于反射型太赫茲時域光譜技術的熱障涂層多層厚度檢測方法，包括以下步驟：首先應用太赫茲時域光譜檢測裝置分別測量太赫茲波透過空氣和被檢測的熱障涂層反射的信號，作為時域的參考信號和樣品信號，然后對參考信號做傅里葉變換，將其作為太赫茲入射頻域譜信號；建立太赫茲多層反射理論模型；不斷改變熱障涂層中各層的厚度值，帶入多層反射理論模型，得到樣品的理論頻域譜信號后對其進行反傅里葉變換，從而得到樣品信號時域的理論值，并與實驗測得的樣品信號做比較，采用優化算法進行尋優，直到理論計算結果與實驗測量結果一致，各層厚度值即為被檢測厚度的結果；本發明可為熱障涂層厚度的準確、無損、快速檢測提供一種新的方法。
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