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膜片式壓電驅動器缺陷檢測方法

1164   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:11
本發明屬于壓電驅動器缺陷檢測技術,涉及一種激光陀螺用壓電驅動器的缺陷檢測方法。本發明屬于膜片式壓電驅動器檢測方法,通過測試膜片式壓電驅動器的幅頻特性曲線,即通過壓電元件內部缺陷、壓電陶瓷片與連接基體的連接的缺陷對壓電元件的振動模式的影響,從而定性檢測壓電片的內部缺陷、壓電陶瓷片與連接基體的連續性缺陷檢測。依靠本方法,可實現檢測壓電元件的內部缺陷和壓電驅動器連接層的連續性缺陷檢測,且操作簡單,易行,實現了無損檢測。相對傳統檢測方式,可直接檢測產品缺陷和連接層缺陷,有檢測效率高、檢測精度高、檢測成本低的優點。
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