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基于拉曼殘余應力檢測的碳化硅內部微裂紋深度定位方法

804   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:08
本發明涉及碳化硅內部損傷的無損檢測，公開了一種基于拉曼殘余應力檢測的碳化硅內部微裂紋深度定位方法。該方法包括一種基于共聚焦拉曼光譜檢測微裂紋邊緣殘余應力的方法和一種殘余應力定位碳化硅內部微裂紋深度的方法。微裂紋邊緣殘余應力檢測的方法包括：微裂紋邊緣外拉曼信號的測量；對拉曼信號采集點按特定水平距離排列；雙軸應力方式計算殘余應力。殘余應力定位微裂紋深度的方法包括以下步驟：建立采集點列方向上殘余應力隨深度分布曲線圖；將不同分布曲線上殘余應力最大值所在深度連線；延長連線6μm，連線盡頭就是微裂紋所在深度。本發明所設計方法檢測范圍小，在無損檢測碳化硅內部微裂紋深度的目標下，提高了檢測的效率和準確性。
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“基于拉曼殘余應力檢測的碳化硅內部微裂紋深度定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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