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結構缺陷檢測系統及結構缺陷檢測方法

813   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:06
一種結構缺陷檢測系統，包括：激光器(1)、分光鏡(2)、擴束鏡(3)、半透半反鏡(7)、聲波發生器(4)、聲波頻率調節器(5)、成像透鏡(6)、光電傳感器(9)、計算機(8)；計算機(8)控制聲波發生器(4)發出聲波信號；激光器(1)發出的激光形成了干涉光路，干涉光路在光電傳感器(9)上形成散斑干涉場，生成散斑圖像；光電傳感器(9)將散斑圖像傳輸至計算機(8)進行被測物體的缺陷檢測。此外，還包括一種結構缺陷檢測方法。采用該技術方案能夠檢測消費電子產品內部復雜、細小電子器件的裝配缺陷，是一種非接觸、高精度、在線式、實時性的無損檢測方法。
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