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晶圓檢測裝置及檢測方法

1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:06
本發明提供一種晶圓檢測裝置及檢測方法，所述檢測裝置包括脈沖激光器、第一分束器、第二分束器、光學延遲線、光電探測器、可編程延遲電路、控制器、調束光路、空間光調制器、非線性晶體、固定夾具、聚焦光路和太赫茲探測器。本發明不設機械掃描裝置，待測晶圓無需進行移動掃描，同時利用電控的空間光調制器進行哈達瑪矩陣的切換，可提高切換速度，并有效提高晶圓無損檢測的速度和精度。
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“晶圓檢測裝置及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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