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光學元件亞表面缺陷的多通道原位檢測裝置及檢測方法

1342   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:06
一種光學元件亞表面缺陷的多通道原位檢測裝置及檢測方法，用于玻璃等光學元件缺陷測試。該裝置包括由熒光共聚焦成像系統、熒光壽命成像系統、光熱吸收成像系統三個通道構成，可一次性實現光學元件亞表面微納缺陷幾何形態、光致熒光、光熱吸收特性的原位測試。本發明具有裝置結構緊湊、檢測通用性強、穩定性高的特點，適用于亞表面缺陷的高靈敏度無損檢測。
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