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基板檢測設備及其檢測方法

788   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:06
本發明公開了一種基板檢測設備及其檢測方法,所述檢測方法包括:獲取基板的位置;檢測并獲取殘留物信息;以及根據所述殘留物信息,判斷所述位置的清潔度,并反饋結果。本發明通過光學顯微鏡進行定位后,啟動光阻檢測裝置對所需位置進行光阻殘留檢測,可以實現檢測完就反饋,簡單高效,同時利用機械臂移動檢測裝置到待檢測的位置,相比于傳統的方式,大尺寸面板可以不用切片就可執行無損檢測的操作,兼顧了耗材利用率與測量效率。
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