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激光無損表征薄膜楊氏模量的優化方法

772   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:04
本發明涉及一種表征薄膜楊氏模量的優化方法，包括：計算出殘余應力對薄膜楊氏模量測量的影響小于5％的范圍，作為理想模型的適用范圍；采用薄膜/襯底結構的樣片，控制激光器發射出一定頻率和能量的短脈沖激光束，樣片表面通過熱彈效應產生超聲表面波；得到實驗頻散曲線；將薄膜的厚度和殘余應力值與理想模型的適用范圍進行對照；若殘余應力對薄膜楊氏模量測量的影響小于5％，將樣片的薄膜和襯底的密度、楊氏模量、泊松比、厚度在內的其他參數代入MATLAB理想理論模型中，然后通過改變楊氏模量的值來找出與實驗頻散曲線最相近的理論頻散曲線的楊氏模量的值。
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