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激光系統用光學玻璃的無損清洗工藝

1110   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:02
本發明公開了一種激光系統用超光滑光學玻璃的無損清洗工藝，包括弱酸浸泡、純水漂洗、疵病檢測、有機洗劑清洗、純水漂洗、IPA脫水、IPA慢提拉干及潔凈度檢測等步驟；本發明的步驟是通過弱酸溶劑浸泡及超聲清洗的方式軟化基片表面殘留物，隨后利用純水進行漂洗，純水漂洗完成后利用有機溶劑超聲清洗，去除表面的酸性洗劑殘留，隨后再次利用純水漂洗去除表面殘留的有機溶劑，純水漂洗完成后利用IPA進行超聲脫水，最后利用IPA高溫蒸汽進行烘干，去除表面的IPA殘留，實現超光滑光學玻璃的無損清洗，清洗完成后，利用光學顯微鏡進行實時檢測，保證清洗工序的重復一致性。
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聲明：
“激光系統用光學玻璃的無損清洗工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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