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利用共聚焦激光掃描顯微系統對微納米級介質波導或臺階型結構側壁角的無損測量方法

1041   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:58
利用共聚焦激光掃描顯微系統對微納米級介質波導及臺階型結構進行快速無損檢測的方法涉及精密加工與測試領域。該方法包括設計了一種共聚焦激光掃描顯微系統，在探測器前設置可調針孔光闌；設計了掃描范圍可達100微米控制精度可達10納米的激光掃描器和物距與傾角都可調的載物臺，選定405納米波長激光器；將被測基片放置在載物臺上，設定光闌針孔為
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