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無損測量薄膜的探針和測量儀器

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:56
本發明提供一種無損測量薄膜的探針及測量儀器，包含導電針體、導電彈性針頭、固定環、感應收縮簧。感應收縮簧的感應端超出導電彈性針頭一定距離，能夠監測到與納米級厚度薄膜的接觸和接觸后的應力大小，能夠精準地控制再次推進時間，使探針恰好接觸薄膜而不損壞薄膜。該探針及測量儀適合對半導體薄膜進行接觸式無損、穩定、可重復的準確檢測，同時也適合推廣到其它薄膜材料的電學檢測。
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“無損測量薄膜的探針和測量儀器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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