本實用新型公開了一種汽車軸承自動化無損檢測用凹型128信號源的相控陣超聲波探頭,包括背襯材料、壓電晶片及匹配層材料,所述的壓電晶片上表面通過磁控濺射鍍有上電極層2?4,壓電晶片下表面通過磁控濺射鍍有下電極層,所述的壓電晶片和匹配層材料用環氧粘接在一起,并真空箱中抽真空去除氣泡,壓電晶片和匹配層材料的組成疊層結構,所述的匹配層材料聲阻抗為5兆瑞利,聲速2800m/s,壓電晶片和匹配層材料的組成疊層結構等間距切割成128個陣元,切割厚度只切穿壓電晶片的上電極層,不切穿下電極層,所述的上電極層引出128個信號引線,引線接入同軸電纜,同軸電纜上固定有護線套。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)