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基于內聚力模型的無損檢測薄膜粘附性的方法

1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:55
本發明涉及一種基于內聚力模型的無損檢測薄膜粘附性的方法，包括：利用界面之間的粘附力和界面相對位移的關系來表示薄膜和襯底間的粘附性，建立指數型內聚力模型的勢函數來表征出薄膜與襯底間的粘附情況；利用上述指數型內聚力模型作為薄膜襯底結構中薄膜襯底界面單元的本構模型，建立考慮界面粘附性的有限元模型，該模型包含薄膜和襯底兩部分，并在薄膜和襯底間添加內聚單元；對復合參數進行界面粘附性敏感性分析，確定關鍵參數；計算考慮薄膜與基底間粘附性時的超聲表面波在分層結構中傳播的理論頻散曲線；獲得表面波的實驗頻散曲線；得到薄膜粘附特性的測量值。本發明可以實現薄膜粘附性的定量表征。
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“基于內聚力模型的無損檢測薄膜粘附性的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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