本發明提供了一種光柵無損檢測方法及系統,方法包括:獲取樣品光柵圖像;對樣品光柵圖像進行背景校正,獲得樣品光柵透射圖;對樣品光柵透射圖提取樣本區域進行分析,獲得樣品光柵透射圖的像素灰度平均值;根據樣本區域以及像素灰度平均值判斷樣品光柵的均勻性;采用Sobel算子對樣品光柵透射圖進行缺陷提??;將均勻性結果信息和缺陷信息進行顯示;該方法通過對樣品光柵透射圖采樣,計算樣本區域的相對誤差、方差,提取直方圖,從而對樣品光柵的均勻性進行判斷,根據光柵的結構特點,利用Sobel算子消除垂直方向的條紋,從而查找出非垂直方向輪廓的缺陷,方法簡單,可靠性高,無需破壞光柵即可檢測出樣品光柵的均勻性,為樣品光柵是否能投入使用提供依據。
聲明:
“光柵無損檢測方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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