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同時檢測薄膜粘附特性及楊氏模量的無損表征方法

1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:53
本發明涉及一種同時檢測薄膜粘附特性及楊氏模量的無損表征方法，包括：通過激光激發待測樣片的超聲表面波試驗，獲得待測樣片的實驗頻散曲線，得到不考慮粘附特性影響時的楊氏模量值，并將作為已知參量測量出樣片的粘附特性。確定出楊氏模量及粘附特性的搜索范圍及搜索步長。計算獲得在搜索范圍內的，以確定的搜索步長而確定出的一系列的由楊氏模量和粘附特性確定出的理論頻散曲線，計算每一條理論頻散曲線和實驗頻散曲線的R2值，對于R2值進行排序，R2值最大的一條曲線既可被認為是匹配度最高的曲線，該曲線對應的楊氏模量值和粘附特性值即為待測薄膜的楊氏模量值及粘附特性值。
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