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應用超聲表面波無損檢測薄膜厚度的方法

1199   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:53
本發明涉及一種應用超聲表面波無損檢測薄膜厚度的方法，包括：根據樣片薄膜與基底的材料參數，計算其理論頻散曲線；利用激光激發超聲表面波系統對樣片進行檢測，在距離激發源一定距離的兩個位置處通過壓電探測器探測表面波信號；計算出其幅度特性和相位特性，求解出聲表面波的相速度，獲得表面波的實驗頻散曲線；進行一次多項式擬合；選擇理論頻散曲線上的一個數據點，將該數據點的波速值v帶入到擬合曲線計算其對應的頻率值；通過比較理論頻散曲線中的頻率膜厚積與擬合曲線中的頻率即可求出樣片的厚度。本發明可以提高表面波波速測量的準確性。
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