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硅外延層過渡區的無損檢測方法

1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:50
本發明公開了一種硅外延層過渡區的無損檢測方法，屬于硅外延生長技術領域。本發明的方法包括下述步驟：（1）生長前利用電容位移傳感器的方法先測量硅襯底片總厚度Tsub；（2）將硅襯底片外延生長，取片后利用紅外膜厚測試儀測量硅外延層厚度Tepi，測量位置和外延前測量硅襯底片厚度的位置相對應；（3）然后利用電容位移傳感器測量外延后的硅片的總厚度Ttot，其測量位置和硅襯底片測量厚度的位置相對應；（4）利用公式:(硅襯底片總厚度Tsub+硅外延層厚度Tepi)–外延后硅片的總厚度Ttot，得到過渡區長度。本發明的方法具有無損、準確率高、檢測速度快的優點。
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聲明：
“硅外延層過渡區的無損檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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