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投射式無損檢測薄膜層間內部缺陷的紅外熱像裝置及方法

1084   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:46
本發明公開了一種投射式無損檢測薄膜層間內部缺陷的紅外熱像裝置及方法，所述裝置包括閃光光源、紅外熱像儀、信號同步裝置、被檢測件和計算機，信號同步裝置分別與閃光光源和計算機連接，紅外熱像儀分別與計算機和信號同步裝置連接，被檢測件垂直放置在紅外熱像儀和閃光光源之間，并與紅外熱像儀的鏡頭平行。所述方法利用脈沖加熱激勵時多層薄膜中有缺陷部分熱流受阻、無缺陷部分熱流順利通過造成的表面溫度不同的現象識別出缺陷的部位和尺寸。本發明具有快速、無損、實時、檢測成本低的特點，將其應用于微電子、微電子機械等信息電子制造領域，可以使制造成本、測試成本大幅降低，質量得以提高，具有廣闊的應用前景。
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