本發明涉及一種基于趨膚效應的樣品表面覆膜的無損檢測方法及系統,包括采用頻率可變的交流信號作用于待測樣品的兩端;逐漸增加交流信號的頻率,檢測不同頻率的交流信號對應的待測樣品兩端的電阻或電壓,并進行曲線繪制獲取待測樣品的電阻-頻率曲線或電壓-頻率曲線;分析待測樣品的電阻變化量或待測樣品兩端電壓變化量隨頻率變化的規律,并計算或標樣對比得到待測樣品覆膜的厚度。本發明的基于趨膚效應的樣品表面覆膜的無損檢測方法及系統,可對待測樣品進行整體測量,檢測靈敏度較高,并且可實現自動化測量,檢測效率較高。另外,由于趨膚效應,高頻時材料表面的缺陷對高頻信號更敏感,通過改變交流信號的頻率還可以獲取鍍膜表面缺陷及裂紋深度分布信息。
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