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用于檢測芯片內部微納磁特征信息的無損檢測系統及方法

1081   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:41
本發明公開了一種用于檢測芯片內部微納磁特征信息的無損檢測系統及方法，屬于芯片無損檢測技術領域，所述系統包括：聯合振移裝置、高磁導率探針、電壓放大器、鎖相放大器、處理器。所述方法包括以下步驟：對待測芯片進行通電；利用聯合振移裝置驅動高磁導率探針并使其振動；利用高磁導率探針采集芯片內部磁信息，并通過鎖相放大器傳輸給處理器；電流成像并對比芯片電路原理圖評測缺陷；將檢測結果可視化。本發明檢測芯片內部微納磁特征信息無損檢測技術是采集芯片內部微弱電流產生的磁場信息反演芯片內部電流圖像進行處理，無損檢測過程具有高精度、高實用性的優點。
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