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雙盤光學回音壁模式鈮酸鋰微腔及其制備方法

1063   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:00
一種雙盤光學回音壁模式鈮酸鋰微腔，該微腔自上而下依次是第一鈮酸鋰圓盤、二氧化硅薄盤、第二鈮酸鋰圓盤、二氧化硅支柱和鈮酸鋰基底，及其制備方法，包括制備五層薄膜、加工柱狀結構和化學腐蝕步驟。本發明雙盤光學回音壁模式鈮酸鋰微腔具有極高的表面光潔度、小的模式體積與高的品質因子(實測105，理論值可達107)。
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